在精密鏡面火花機閉環與半閉環伺服系統中，是用反饋信號和指令信號的比較結果來進行速度和位置控制的。因此，為了提高精密鏡面火花機的加工精度，必須提高檢測元件和檢測系統的精度。由于設備種類、工作條件和檢測要求不同，因而使用的檢測元件和檢測方式也有很多種。下面我們簡單的說說精密鏡面火花機的幾種檢測方式以及有哪些檢測元件。
檢查方法：
1、數字式和模擬式：數字式是將被測量進行單位量化后以數字的形式表示，其特點是被測量經量化后轉換成了脈沖個數，便于數據處理。檢測精度取決于測量單位，檢測裝置比較簡單，脈沖信號抗干擾能力強。模擬式是將被測量用連續的變量來表示，其特點是被測量用連續的變量值來表示，可直接測量被測量，無須量化，在小量程內可以實現高精度測量。
2、增量式和式：增量式檢測只測位移的增量，每移動一個測量單位就發一個測量信號，其特點是結構簡單。任何一個對中點都可以作為測量的起點，然而，在運動過程中，一旦發生意外中斷，則不能再找到中斷前的位置，只能重新開始。式檢測則無此缺點，任何位置都由一固定值與之對應，但結構復雜。
在精密鏡面火花機上常用的滑動導軌有液體靜壓導軌、氣體靜壓導軌和貼塑導軌。
1、液體靜壓導軌：在兩導軌工作面間通入具有一定壓力的潤滑油，形成靜壓油膜，使導軌工作面間處于純液態摩擦狀態，摩擦系數極低，多用于進給運動導軌。
2、貼塑導軌：在動導軌的摩擦表面上貼上一層由塑料等其它化學材料組成的塑料薄膜軟帶，其優點是導軌面的摩擦系數低，且動靜摩擦系數接近，不易產生爬行現象；塑料的阻尼性能好，具有吸收振動能力，可減小振動和噪聲；耐磨性、化學穩定性、可加工性能好；工藝簡單、成本低。
3、氣體靜壓導軌：在兩導軌工作面間通入具有恒定壓力的氣體，使兩導軌面形成均勻分離，以得到高精度的運動。這種導軌摩擦系數小，不易引起發熱變形，但會隨空氣壓力波動而使空氣膜發生變化，且承載能力小，故常用于負荷不大的場合。
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